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    首页 / 产品信息 / 产品参数 / 直拉硅抛光片
     
     
     --直拉硅抛光片
     --区熔单晶硅
     --大直径单晶硅棒(片)
     生产能力
     
    300mm
    300mm epi
    Type
    P,N
    P,N
    Orientation
    <100>
    <100>
    Dopant
    B,P
    B,P
    Resistivity(Ω . cm)
    0.5-100
    0.1-50
    Thickness(μ m)
    775±25
    775±25
    Front Surface
    Polished
    Epi
    STIR(μ m)
    SFQR<0.15μm,25mm×25mm
    SFQR<0.15μm,25mm×25mm
    TTV(μ m)
    GBIR<2μm
    GBIR<2μm
    Particle
    <100,@0.12μm
    <100,@0.12μm
    Back Surface
    Polished
    Polished

    200mm
    150mm
    Type
    P,N
    P,N
    Orientation
    <100>,<111>
    <100>,<111>
    Dopant
    B,P,AS,Sb,Red Phos
    B,P,AS,Sb,Red Phos
    Resistivity(Ω . cm)
    P/B     0.0035-90
    N/As      0.001-0.005
    N/Sb     0.005-0.1
    N/P     0.07-70
    N/Red P     0.0007-0.0018
    Thickness(μ m)
    625,675,725
    375,450,525,625,675
    Front Surface
    Polished
    Polished
    STIR(μ m)
    <1.2 , 25mm×25mm
    <1 , 15mm×15mm
    TTV(μ m)
    <4
    2.5-3
    Particle
    <10,@0.2μm
    <10,@0.3μm
    Back Surface
    BSD,Poly back,SiO2,Ethed
    BSD,Poly back,SiO2,Ethed

    125mm
    100mm
    Type
    P,N
    P,N
    Orientation
    <100>,<111>
    <100>,<111>
    Dopant
    B,P,AS,Sb,Red Phos
    B,P,AS,Sb,Red Phos
    Resistivity(Ω . cm)
    P/B     0.0035-90
    N/As      0.001-0.005
    N/Sb     0.005-0.1
    N/P     0.07-70
    N/Red P     0.0007-0.0018
    Thickness(μ m)
    290,375,450,525,625
    290,350,450,525
    Front Surface
    Polished
    Polished
    STIR(μ m)
    1-1.5 , 15mm×15mm
    1-2.0 , 15mm×15mm
    TTV(μ m)
    <4
    <4
    Particle
    <10,@0.3μm
    <10,@0.3μm
    Back Surface
    BSD,Poly back,SiO2,Ethed
    BSD,Poly back,SiO2,Ethed

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